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    團簇轉運平臺
    更新時間：2023-01-29 09:50:02 字號：T|T
    提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺，用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運，以便客戶進行二次開發。

           


    1、產品用途
    提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺，用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運，以便客戶進行二次開發。

    2、技術參數

    基片規格

                   2"—12"

    工位數

                   4工位、6工位、8工位

    真空機械手

                   華聚科技/進口

    腔體材料

                   鋁/不銹鋼

    控制軟件

                   MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選

    選配

                   其他功能可根據要求選配或定制
      
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