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    真空機械手
    更新時間：2023-01-29 09:49:04 字號：T|T
    VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
                              

    1、產品用途      
            VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。

    2、技術參數

    伸縮行程 

                   ≤600mm

    載重量

                   ≤0.5kg

    耐真空度

                   10-5Pa

    維數

                   3維

    重復運動精度

                   ±0.1mm 

    維護周期

                   1年/次

    手臂耐溫（℃）

                   ≤80

    叉片耐溫（℃）

                   ≤300（更高可定制）

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