陰極預處理臺
更新時間:2022-03-03 09:56:48 字號:T|T
用于電真空器件陰極組件的排氣、老練工藝。
2、技術參數
極限真空度 |
10-7Pa |
工作真空 |
10-6Pa |
工位數量 |
10工位 |
烘箱溫度 |
≤550℃ |