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    200工位超高真空排氣設備
    更新時間：2022-03-03 10:09:41 字號：T|T


    1、產品用途
              用于200工位器件超高真空排氣。

    2、技術參數

    極限真空

    10-8Pa

    烘烤溫度

    室溫+20℃～180℃

    工位數量

    200 工位

    分區

    共分成 4 個分區，每個分區可獨立工作

    溫度均勻性

    單個溫區內≤±3℃

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